HORIBA堀場HF密度計HF-960EM

更新時間：2024-07-30

簡要描述：

HORIBA堀場HF密度計HF-960EM
用于半導體制造工藝的HF濃度計HF-960EM
HF-960EM是使用帶有*潤濕部件的傳感器作為PFA的型號，并且符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實現了節省空間的安裝。提高穩定性和重現性準確性，并支持高達50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設置，HF濃度高達50％
高穩定性/再現性精度
內置溫度測量傳感器支持高達80℃的HF樣品

型號：廠商性質：經銷商瀏覽量：1803

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品牌	其他品牌	密度溫度范圍	10℃
密度測量范圍	1g/cm3	最小取樣量	1ml
密度精度	1g/cm	價格區間	5千-1萬
檢測類型	測液體樣品	儀器類別	臺式
行業應用	通用密度計	儀器種類	真密度計
應用領域	環保

HORIBA堀場HF密度計HF-960EM

用于半導體制造工藝的HF濃度計HF-960EM

HF-960EM是使用帶有*潤濕部件的傳感器作為PFA的型號，并且符合半導體工藝中的清潔度要求。傳感器尺寸縮小到極限，實現了節省空間的安裝。提高穩定性和重現性準確性，并支持高達50％HF濃度的寬量程。

特征
寬范圍設置，HF濃度高達50％
高穩定性/再現性精度
內置溫度測量傳感器支持高達80℃的HF樣品測量。 FS精度達到±0.5％。
自動量程功能
無污染/耐化學腐蝕傳感器
清潔結構的傳感器，僅使用PFA作為液體接觸材料。由于它是一種耐化學腐蝕的傳感器，因此可以用于測量半導體工藝中使用的各種化學物質。
小型輕巧的傳感器
與我們的傳統產品相比，尺寸縮小了2/3，并且重量進一步減輕。通過將其安裝在單晶圓噴嘴的前面，可以提高安裝空間的靈活性

仕様

型式	HF-960EM
測定レンジ	HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm
繰り返し性	フルスケールの+/- 0.5% 以內（等価入力にて）
直線性	フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以內（等価入力にて）
伝送出力	出力點數：4點
接點出力	出力點數：5點
接點入力	入力點數： 2點
通信機能	RS-485
電源	DC 24 V +/- 10% 15W
適合センサ	CM-520 Series
接液部	PFA