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18511227625更新時間：2024-07-30
HORIBA堀場電導率儀HE-480C-GC總覽隨著器件的發展，在半導體制造工藝的濕法工藝中使用的化學物質類型趨于越來越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化學性的傳感器來測量化學物質的電導率，是處理過程中的濃度控制，化學物質稀釋控制和超純水循環監控的理想選擇。特征優異的耐化學性和耐壓性能通過采用具有高耐壓和高耐化學性的特殊電極，它是化學處理后測量DIW Rince的電導率值以及在循
| 品牌 | 其他品牌 | 最小分辨率 | 1μs/cm |
|---|---|---|---|
| 精確度 | 1FS | 溫度測量范圍 | ０～100℃℃ |
| 鹽度測量范圍 | 1ppt | 電阻率測量范圍 | 1MΩ·cm |
| TDS測量范圍 | 1g/l | 電導率測量范圍 | 1mS/cm |
| 價格區間 | 1萬-2萬 | 檢測參數 | 多參數 |
| 儀器種類 | 臺式 | 應用領域 | 環保 |
HORIBA堀場電導率儀HE-480C-GC
碳傳感器電導率儀低濃度HE-480C-GC型
總覽
隨著器件的發展，在半導體制造工藝的濕法工藝中使用的化學物質類型趨于越來越多。 HE-480C-GC使用具有高耐化學性的傳感器來測量化學物質的電導率，非常適合在處理過程中進行濃度控制，化學物質稀釋控制和超純水循環監控。
特征
優異的耐化學性和耐壓性能
通過采用具有高耐壓和高耐化學性的特殊電極，非常適合化學處理后測量DIW Rince的電導率值以及在循環管線中進行測量。
無金屬污染
因為特殊的碳被用作電極材料，所以沒有洗脫金屬污染物的風險。
溫度測量/顯示功能
使用溫度補償元件Pt1000Ω。可以進行溫度測量和顯示。
同時顯示測量值和參數設置
您還可以在進行設置和調用設置值時檢查測量值。
內置豐富的溫度補償功能
您可以選擇超純水的溫度特性（參考溫度25°C），NaCl溫度特性以及參考溫度和溫度補償系數的可選設置，因此可以根據所測溶液進行溫度補償。
帶有圖標和安全功能的增強狀態顯示
用圖標顯示儀器的狀態。易于理解的顯示可防止操作錯誤。此外，通過設置安全代碼，所有按鍵操作均被鎖定，以防止由于故障而導致測量錯誤
指示変換器
形式 | HE-480C-GC |
|---|---|
測定方式 | 2電極方式 |
センサ入力 | 1チャンネル |
溫度センサ仕様 | 白金抵抗體1000Ω/0℃ |
繰り返し性 | ※1 ±0.5％フルスケール以內 |
直 線 性 | ※1 ±0.5％フルスケール以內 |
伝送出力 | 出力點數：1點 |
接點出力 | 出力點數：2點 |
校正機能 | 導電率：セル定數の補正係數入力による（パラメータ入力） |
ホールド機能 | 直前値ホールド、任意値ホールド、連続より選択設定 |
自己診斷機能 |
|
溫度補償 |
|
溫度補償範囲 | ０～100℃ |
周囲使用溫濕度 | 溫度：-5～45℃、濕度：20～85％（結露しないこと） |
電源 | AC100～240V ±10％ 50/60Hz 10VA（max） |
保護構造 | パネル部：IP65、リヤケース：IP20、端子部：IP00(パネル取付屋內設置型) |
質量 | 約400g |
適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
組合せセンサ | ESHシリーズ導電率GCセンサ |
センサ
形式 | ESH-01-L-GC5-Y-10M | ESH-1-L-GC9-Y-10M | |
|---|---|---|---|
セル定數 | （約0.1/cm） | （約1/cm） | |
接液材質 | 極部 | GC（ガラスカーボン） | |
ボディ部 | PFA | ||
パッキン | カルレッツ® | ||
試料水條件 | 溫度：0～80℃、 圧力：0～0.5MPa | ||
ケーブル長 | 10m、Y端子（標準）※4 | ||
取付 | ねじ込み口徑：R（PT）3／4 | ||
組合せホルダ | 流通形ホルダEFA-30シリーズ ※5 | ||
※4ケーブル長、端末処理形狀については別途ご相談ください。
※5流通型ホルダは、EFA-30P（PVDF）またはEFA-30F（PFA）をご使用ください。
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