MLH-326 519-326杠桿式測(cè)頭Mitutoyo

MLH-326 519-326杠桿式測(cè)頭Mitutoyo

 杠桿式測(cè)頭
貨號(hào)519-521 519-522 519-326 519-327
型號(hào)MLH-521 MLH-522 MLH-326 MLH-327
測(cè)量范圍(mm) ±0.5
測(cè)頭行程(mm) ±0.6 ±0.65
測(cè)力(N) 約0.2 約0.02 約0.15
直線度(%) ±0.3 ±0.5
軸承部結(jié)構(gòu)軸尖支撐軸尖支撐平行板彈簧式軸尖支撐
* 購(gòu)買杠桿電子測(cè)頭時(shí)，事先裝配有ø2 測(cè)針

 這 是一種可直接連接控制裝置的細(xì)長(zhǎng)、
封閉、兩相方波光柵尺。
• 光柵尺報(bào)警顯示功能易于維護(hù)。
• 適于您應(yīng)用的多種規(guī)格。
• 適 用于控制半導(dǎo)體制造系統(tǒng)和NC機(jī)床

 分辨力0.005 μm
(20 μm/4096)*1 0.01 μm 0.001
μm
0.005 μm
(20 μm/4096)*1 0.01 μm 0.001
μm
0.005 μm
(20 μm/4096)*1 0.01 μm 0.001
μm
大響應(yīng)速度150 m/min (2.5 m/s) 72 m/min (1.2 m/s)
有效測(cè)量范圍100 - 2200mm 100 - 1000mm 100 - 350mm
精度 (20ºC)*2 (3+3L0/1000)μm (2+2L0/1000)μm
受溫度波動(dòng)影響的
光柵尺上的膨脹參
考點(diǎn)
有效測(cè)量長(zhǎng)度的中部
有效測(cè)量長(zhǎng)度的邊緣
HL: "+" 側(cè)的值
HR: "–" 側(cè)的值
*1: 20μm信號(hào)除以4096后，準(zhǔn)確值為0.0048828125μm。
*2: 指示精度不包括量化誤差。L0: 有效范圍 (mm)

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