kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

更新時(shí)間：2024-08-01

簡(jiǎn)要描述：

kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源
濺射用直流脈沖電源
DC出力及びパルス出力が可能
出力のパルス化により、異常放電を軽減

型號(hào)：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商瀏覽量：712

kdn京都電機(jī)器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

スパッタリング用DCパルス電源

SAT-56S/SAT-56D

特征可直流輸出和脈沖輸出輸出脈沖減少異常放電配備碳化硅器件通過(guò)使用 SiC 元件實(shí)現(xiàn)理想的方波脈沖輸出另外，裝置的模塊化實(shí)現(xiàn)了緊湊化和高效率化。減少基板和陰極損壞異常放電時(shí)高速關(guān)斷，減少電弧放電造成的損壞

內(nèi)部單元之間的同步可以在內(nèi)部單元之間進(jìn)行同步/異步選擇可以控制同步和相移

ラインナップ		SAT-56S	SAT-56D
入力仕様	入力電圧	AC180V?AC480V	AC180V?AC480V
	相數(shù)?周波數(shù)	3相3線 50/60Hz	3相3線 50/60Hz
	入力電流	40Amax	20Amax
	入力容量	12kW	6kW
出力仕様	出力波形	DC及び矩形波パルスの選択が可能	DC及び矩形波パルスの選択が可能
	接地	プラス端子接地によるマイナス出力	プラス端子接地によるマイナス出力
	定格電力	5kWmax×2	5kWmax
	定格電圧	-650Vmax	-650Vmax
	定格電流	15.4Amax	15.4Amax
	制御方式	定電力?定電流?定電圧制御	定電力?定電流?定電圧制御
	出力精度	定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測(cè)値が設(shè)定値の±1%以內(nèi) 若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方	定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測(cè)値が設(shè)定値の±1%以內(nèi) 若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方

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