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          kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

          更新時間:2024-08-01

          簡要描述:

          kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源
          濺射用直流脈沖電源
          DC出力及びパルス出力が可能
          出力のパルス化により、異常放電を軽減

          型號:廠商性質:經銷商瀏覽量:677
          品牌其他品牌貨號SAT-56S
          規格1供貨周期一個月以上
          主要用途SAT-56D應用領域環保,電子/電池,電氣
          電壓AC180V?AC480V

          kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

          kdn京都電機器SAT-56S/SAT-56D脈沖電源

           

          スパッタリング用DCパルス電源

          SAT-56S/SAT-56D

           特征 可直流輸出和脈沖輸出 輸出脈沖減少異常放電 配備碳化硅器件 通過使用 SiC 元件實現理想的方波脈沖輸出 另外,裝置的模塊化實現了緊湊化和高效率化。 減少基板和陰極損壞 異常放電時高速關斷,減少電弧放電造成的損壞

           內部單元之間的同步 可以在內部單元之間進行同步/異步選擇 可以控制同步和相移

           

          ラインナップSAT-56SSAT-56D
          入力仕様入力電圧AC180V?AC480VAC180V?AC480V
          相數?周波數3相3線 50/60Hz3相3線 50/60Hz
          入力電流40Amax20Amax
          入力容量12kW6kW
          出力仕様出力波形DC及び矩形波パルスの選択が可能DC及び矩形波パルスの選択が可能
          接地プラス端子接地によるマイナス出力プラス端子接地によるマイナス出力
          定格電力5kWmax×25kWmax
          定格電圧-650Vmax-650Vmax
          定格電流15.4Amax15.4Amax
          制御方式定電力?定電流?定電圧制御定電力?定電流?定電圧制御
          出力精度定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以內
          若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方
          定電力?定電流?定電圧の各モードで、実測値が設定値の±1%以內
          若しくは、フルスケールに対して0.2%のいずれか大きい方

           

           

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