Mitutoyo三豐調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔378-713DC

Mitutoyo三豐調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔378-713DC

調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔

 多可安裝5個(gè)物鏡，轉(zhuǎn)塔的方向可相對(duì)于安裝面自由設(shè)置。

 在VMU-V上安裝的示例 (物鏡為選件)

 貨號(hào) 378-713DC 觀察方法 明視場(chǎng)觀察 物鏡安裝孔數(shù) 5(基準(zhǔn)孔1 、帶調(diào)心機(jī)構(gòu)孔4) 視場(chǎng)調(diào)節(jié)范圍 ±0.5mm 定位精度(重復(fù)停止精度) 2σ＝3µm 驅(qū)動(dòng)壽命(耐久性) 100萬(wàn)個(gè)位置 驅(qū)動(dòng)方式 DC電機(jī) 輸入電源 AC100V～240V 大功耗約10W 外部輸入輸出接口※ RS-232C(用于使用計(jì)算機(jī)進(jìn)行外部控制) 附帶電纜長(zhǎng)度 3m(連接電動(dòng)轉(zhuǎn)塔部和控制箱) 外觀尺寸：W×H×D(mm)、重量 主體部分：130×47×186、約1.8kg 控制箱：108×63×176、約810g ※連接時(shí)請(qǐng)使用【RS-232C 電纜(12AAA807)】

(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過(guò)與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實(shí)現(xiàn)高精度、高

品質(zhì)加工。

與簡(jiǎn)易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。

　★保護(hù)膜、有機(jī)薄膜等的剝離

　★金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露

　★FPD的各種缺陷修正

　★光掩模修正

　★標(biāo)記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線

憑借長(zhǎng)動(dòng)作距離設(shè)計(jì)的物鏡，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的操作性。

與定位器、探針臺(tái)等組合。

通過(guò)與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無(wú)縫銜接的系統(tǒng)。

此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內(nèi)的外觀檢查的系統(tǒng)