Mitutoyo成像（鏡筒）透鏡

Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡

 成像(鏡筒)透鏡

Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡
MT

 MT-1,2,40 ：可見(jiàn)區(qū)(435.8～656.3nm)
MT-L ：近紫外區(qū)(355nm)到近紅外區(qū)(1064nm)
MT-L4 ：紫外區(qū)(266nm)到可見(jiàn)區(qū)(620nm)

 VMU、WIDE VMU、FS70采用了使用物鏡和成像(鏡筒)透鏡進(jìn)行成像的無(wú)限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。物鏡與成
像鏡頭之間的光通量為平行光線，能減少反射照明用半反射鏡產(chǎn)生的重影、棱鏡、濾光片等的像位變化。
使用本公司制造的物鏡設(shè)計(jì)光學(xué)系統(tǒng)時(shí)，請(qǐng)使用上述成像(鏡筒)透鏡

FS-70 系列
378 系列 — 半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡單元

 • 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測(cè)金
屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹(shù)脂等。
• 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的
OEM (原廠委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅
外、可見(jiàn)、近紫外或紫外) 激光* 對(duì)半導(dǎo)體晶
片進(jìn)行檢測(cè)和修補(bǔ)的設(shè)備。
* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。
• 應(yīng)用：切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做
標(biāo)記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色
濾光器的修復(fù)(校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀
察剖面圖以便探針?lè)治霭雽?dǎo)體故障。
• 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。
應(yīng)用：晶體硅的內(nèi)部觀察；紅外光譜特征
分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。
• 支持BF (亮視場(chǎng))、DF (暗視場(chǎng))、偏振光及微
分干涉對(duì)比(DIC) 的型號(hào)(產(chǎn)品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)
系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。
• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長(zhǎng)工作距離的物鏡確保了顯
微鏡下的高可操作性

 型號(hào)FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號(hào)378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
型號(hào)FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號(hào)378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
聚焦調(diào)節(jié)使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對(duì)焦輪(右/左)實(shí)現(xiàn)50mm行程范圍
圖像正像
物鏡筒鏡西登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm
視場(chǎng)數(shù)24mm
俯角— 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º
透過(guò)率
固定(目
鏡/TV＝
50%/50%)
可調(diào)型(目
鏡/管徑＝
100%/0%：
0%/100%)
固定(目
鏡/TV＝
50%/50%)
可調(diào)型(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%)
防護(hù)濾光片— 內(nèi)置激光濾光片
管徑鏡頭1X 1X - 2X 放大1X
適用激光— 1064/532/355nm 532/266nm
相機(jī)安裝端口C-mount (適用適配器B選件*1) 使用帶TV接口的激光C-mount開(kāi)關(guān)
(帶綠色濾光片轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān))
照明系統(tǒng)(選件) 亮視場(chǎng)反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)
12V100W亮視場(chǎng)反射照明、無(wú)極亮度調(diào)節(jié)、光纖長(zhǎng)度
物鏡 (用于觀察) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡
(用于激光切割) — M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV M Plan UV
載重 *2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主機(jī)) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
*1：可選安裝。
*2：鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量

 Mitutoyo成像(鏡筒)透鏡

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