FS70L4-TH精密顯微鏡單元Mitutoyo三豐

 精密顯微鏡單元
FS70

 ·帶目鏡觀察部的小巧顯微鏡單元
適用于金屬表面和半導(dǎo)體、液晶、樹脂等各種觀察對(duì)象。
·適用于使用YAG激光(近紅外、可見、近紫外、紫外)的微細(xì)加工※ ※不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。
半導(dǎo)體電路的切割、修整、修正、打標(biāo)、薄膜(絕緣膜)的去除和加工、液晶彩色濾光片等的修復(fù)(修正缺陷)等。
并適合作為半導(dǎo)體故障分析用探針臺(tái)的光學(xué)觀察部分。
·適用于紅外光學(xué)系統(tǒng)※
硅類的內(nèi)部觀察、紅外光譜特征分析等。※另需紅外光源和紅外攝像機(jī)等。
·推出了適用于明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉觀察的機(jī)型
·反射照明光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)配帶孔徑光闌科勒照明
·通過采用內(nèi)部轉(zhuǎn)塔和長工作距離物鏡，確保了在顯微鏡下的高操作性

 標(biāo)準(zhǔn)目鏡規(guī)格
型號(hào)FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4
貨號(hào)378-165-1 － 請(qǐng)咨詢378-166-1 378-167-1
可變角度
目鏡規(guī)格
型號(hào)－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH
貨號(hào)－ 378-165-3 請(qǐng)咨詢378-166-3 378-167-3
觀察成像明視場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉 /正像明視場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光/正像
目鏡(必選件) 10×(視場(chǎng)數(shù)24)、15×(視場(chǎng)數(shù)16)、20×(視場(chǎng)數(shù)12)
鏡筒
三目鏡筒
視場(chǎng)數(shù)24
可調(diào)瞳距西登托夫型，調(diào)節(jié)范圍：51～76mm
俯角0～20°(僅限-TH)，眼點(diǎn)移動(dòng)量約114mm
光路
固定式
(目鏡/TV＝50%/50%)
切換式
(目鏡/管徑＝100%/0%：
0%/100%)
固定式
(目鏡/TV＝50%/50%)
切換式
(目鏡/管徑＝100%/0%：0%/100%)
相機(jī)接口
卡口部
C-Mount(使用適配器B※1)
使用適配器B進(jìn)行齊焦調(diào)節(jié)
C-Mount規(guī)格
(齊焦調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))
C-Mount規(guī)格
(帶綠色濾光片切換功能) (齊
焦調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu))
防護(hù)濾光片－ 內(nèi)置激光濾光片
成像(鏡筒)透鏡內(nèi)置1～2×(可見校正)變焦
內(nèi)置1×(近紅外～可見～近紫
外校正) 內(nèi)置1×(可見、紫外校正)
激光接口
光學(xué)系統(tǒng)
－
倍率：1× 波長：
355/532/1064nm 倍率：1× 波長：266/532nm
卡口部分YAG激光振蕩器
可配備(基波、2次/3次諧波)
YAG激光振蕩器
可配備(2次、4次諧波)
聚焦
部分
粗調(diào)單軸粗微調(diào)(粗調(diào)：3.8mm/圈，微調(diào)：0.1mm/圈)
移動(dòng)量50mm、左右手柄
反射照明光學(xué)系統(tǒng)明視場(chǎng)落射照明(科勒照明、帶孔徑光闌)
照明裝置(選件) 12V100W光纖照明裝置(No.378-700DC)/15V150W光纖照明裝置(176-316DC)均為無級(jí)旋鈕調(diào)光式，
光導(dǎo)長度=1500mm
轉(zhuǎn)塔(必選件) 調(diào)心齊焦手動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
/調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔5孔
手動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
/電動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
調(diào)心齊焦手動(dòng)轉(zhuǎn)塔4孔
/調(diào)心電動(dòng)轉(zhuǎn)塔5孔
物鏡
(必選件)
觀察用
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
BD Plan Apo
BD Plan Apo HR
BD Plan Apo SL
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
激光
加工用
－
M/LCD Plan Apo NIR
M/LCD Plan Apo NUV
※根據(jù)激光振蕩器的使用波長選擇
M Plan UV
鏡筒部大承重※2 約14kg(-TH：約13.2kg) 約13.9kg(-TH：約13.1kg)

 1：選裝。※2：不包括轉(zhuǎn)塔、物鏡、目鏡的重量。
注)使用物鏡M Plan Apo 1×時(shí)，建議搭配使用偏光裝置(No.378-092或378-094)。
注)在FS70L、FS70L4上安裝YAG激光振蕩器使用時(shí)，
·請(qǐng)注意激光輸入值和能量密度等。否則可能會(huì)導(dǎo)致光學(xué)系統(tǒng)受損。
·請(qǐng)確認(rèn)激光振蕩器的重量。在高速、高加減速裝置上安裝時(shí)請(qǐng)進(jìn)行咨

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合，可在紅外線下實(shí)
現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度測(cè)量
★MEMS內(nèi)部的非破壞評(píng)價(jià)、三維安裝評(píng)價(jià)
★半導(dǎo)體封裝(IC)的內(nèi)部觀察、晶圓鍵合空洞評(píng)價(jià)傳感器
★紅外分光特性分析

FS70L4-TH精密顯微鏡單元Mitutoyo三豐
通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機(jī)卡口的
組合，能夠?qū)ν晃恢靡圆煌堵释瑫r(shí)觀
察。
(低倍率側(cè)：2/3型、高倍率側(cè)：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實(shí)現(xiàn)高精度、高
品質(zhì)加工。
與簡(jiǎn)易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。
★保護(hù)膜、有機(jī)薄膜等的剝離
★金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露
★FPD的各種缺陷修正
★光掩模修正
★標(biāo)記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線